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    薄膜的本征應力
    • 作者:未知 更新時間:2010-8-19 13:03:08 來源:江蘇省光學學會 【字號: 】 本條信息瀏覽人次共有
    問題:不同材料的薄膜本征應力的大小和性質如何?
    解答:薄膜內部單位截面上所承受的力,稱內應力。內應力是薄膜制造過程中,在內部自己產生的應力。內應力分本征應力和熱應力。
    本征應力來自薄膜的結構因素或缺陷,它是內應力的不可逆部分;本征應力有界面應力和生長應力組成。界面應力的產生是由于界面處薄膜與基片的結構失配。當薄膜與基片的晶格或準晶格具有大的差別,或界面上有相當高的缺陷密度和雜質密度時,也會引起嚴重的界面失配。都會導致很大的界面應力。生長應力來自膜內各個無序結構層的重排和收縮,或源于晶粒之間的相互作用力。下面分別介紹金屬膜、介質膜的本征應力大小和應力類型。供參考。
    表1 厚度約為100nm的金屬膜的本征應力
    2 厚度約為500nm的介質膜的本征應力
                                                                       
                                            薄膜專委會
                                              2004-12-20
    附件:表1 厚度約為100nm的金屬膜的本征應力表2 厚度約為500nm的介質膜的本征應力 .doc
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